Röntgenlithografie, Röntgentiefenlithografie, Verfahren der Lithografie, das zur Abbildung einer Absorberstruktur auf einer Maske Röntgenstrahlung anwendet. Aufgrund

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Quellenangabe
Brockhaus, Röntgenlithografie. http://brockhaus.de/ecs/enzy/article/röntgenlithografie