LIGA-Technik

LIGA-Technik [LIGA Abkürzung für Lithografie, Galvanoformung und Abformung],

Verfahren der Mikrotechnik mit den Hauptprozessschritten Lithografie, Galvanoformung (Galvanoplastik) und Abformung, zur Herstellung hochpräziser dreidimensionaler Mikrostrukturen mit großem Aspektverhältnis (Verhältnis Höhe zu Breite) aus Polymeren, Metallen oder Keramik.

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