Ellipsometrie [zu griechisch métron »Maß«] die, -, optische Messmethode zur Bestimmung der Dicke und der optischen Eigenschaften (wie die dielektrische Funktion, Dielektrizitätskonstante) dünner, zumindest teilweise

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Quellenangabe
Brockhaus, Ellipsometrie. http://brockhaus.de/ecs/enzy/article/ellipsometrie