Ellipsometrie

optische Messmethode zur Bestimmung der Dicke und der optischen Eigenschaften (wie die dielektrische Funktion, Dielektrizitätskonstante) dünner, zumindest teilweise transparenter Schichten und Schichtfolgen. Das auf P. Drude zurückgehende Verfahren beruht auf der Messung des Polarisationszustandes des an einer Probe reflektierten Lichts in Abhängigkeit von dessen Wellenlänge. Dabei wird linear polarisiertes