Lithografie (Halbleitertechnik)

Bezeichnung für Verfahren zur Übertragung der Strukturen eines Entwurfs (Layouts oder Designs) eines integrierten Bauelements (integrierte Schaltung) auf Halbleiterscheiben (Wafer) oder einer Mikrostruktur auf einem entsprechenden Substrat unter Anwendung verschiedener Bestrahlungsmethoden, entweder direkt (Strahlschreiben) oder mittels Masken (Maskentechnik), wobei auch die Verfahren zur Herstellung der Masken zur