Maskentechnik (Halbleitertechnik)

ein Verfahren der Lithografie, bei dem, im Gegensatz zu direkt schreibenden Methoden, Masken zur Übertragung der Strukturen auf das Halbleitersubstrat (Halbleiterscheiben oder Wafer) verwendet werden. Zunächst wird die benötigte Anzahl an Masken hergestellt. Die Muster der Masken werden dann der Reihe nach auf das jeweils zuvor durch Beschichtung mit Fotolack