Mikrominiaturisierung, Verkleinerung (Miniaturisierung) der Strukturelemente monolithischer integrierter Schaltungen bis an die Grenzen der Maskentechnik, die durch Beugung der verwendeten Strahlen gegeben ist. Mit Lichtoptik erreicht man Strichbreiten < 0,2 μm, mit Röntgenstrahlbelichtung < 0,1 μm und mit Elektronenstrahlbelichtung < 20 nm.