Strahlschreiben (Halbleitertechnik)

Verfahren der Lithografie, bei dem die Struktur eines integrierten Bauelements (integrierte Schaltung) mittels rechnergesteuerter Elektronen-, Laser- oder Ionenstrahlen direkt auf die Halbleiterscheiben (Wafer) übertragen wird. Vorteilhaft bei diesem Verfahren sind die Möglichkeit der Erzeugung kleinster Strukturen und die Flexibilität hinsichtlich Änderungen der zu übertragenden Strukturen; von Nachteil gegenüber der