Schwingquarzwaage

Schwingquarzwaage, Vorrichtung zur Messung der Masse m beziehungsweise der Dicke dünner gleichmäßiger Schichten, wie sie z. B. durch Aufdampfen unter Vakuum hergestellt werden. Das wesentliche Element der Schwingquarzwaage ist ein Schwingquarz, dessen Eigenfrequenz durch die dünne auf seiner Oberfläche abgeschiedene Substanzschicht verstimmt wird. Die relative Verschiebung der Eigenfrequenz f