Schichtdickenmessung, Bestimmung des Abstandes zwischen der Oberfläche einer Schicht und der Oberfläche des Trägerwerkstoffs. Zerstörungsfreie Schichtdickenmessung erfolgt mithilfe von Strahlen oder durch mikroskopische Messung transparenter Schichten, zerstörende Schichtdickenmessung durch Ablösen der Schicht und direkte Dickenmessung oder durch Ermittlung der von einer bestimmten Fläche abgezogenen Masse, aus der dann die