MASFET

ein Oberflächen-FET (Feldeffekttransistor) mit Aluminiumoxid (Al₂O₃, »alumina«) als Isolator zwischen Gate-Elektrode und Kanal. In der Al₂O₃-Schicht kann Ladung gespeichert werden, wodurch die Schwellenspannung eines MASFET verändert wird. Die gespeicherte Ladung kann nur mit UV-Licht gelöscht werden. MASFET eignen sich daher als Speicherzellen, die ihre Information stromlos lange beibehalten und