Hochvakuumröhren, Elektronenröhren, die auf einen Restgasdruck von etwa 10⁻⁶ Pa evakuiert worden sind. Für das Evakuieren des in den Glaskolben eingeschmolzenen Röhrensystems werden Pumpautomaten eingesetzt, wobei das Vakuum durch den Zusatz von Getterstoffen (Getter) noch verbessert wird. Hochvakuumröhren sind z. B. Elektronenstrahlröhren, Laufzeitröhren, Vakuumfotozellen und Röntgenröhren.