Auger-Elektronenspektroskopie

eine den Auger-Effekt nutzende, sehr leistungsfähige Methode zur chemisch-analytischen Untersuchung von Festkörperoberflächen und dünnen Schichten, bei der die Energie der durch Elektronen- oder auch Röntgenstrahlen ausgelösten Auger-Elektronen gemessen wird. Es lassen sich besonders Oberflächenverunreinigungen, Adsorptions- und Diffusionsvorgänge sowie chemische Festkörperreaktionen in der Oberfläche (Katalyse, Oxidation, Korrosion) qualitativ und quantitativ bestimmen: