bezeichnet den Bereich elektromagnetischer Strahlung zwischen etwa 1 und 50 nm, d. h. den kurzwelligen Grenzbereich des ultravioletten Spektralbereichs (Vakuum-Ultraviolett, VUV) hin zum Röntgenbereich, entsprechend mit Photonenenergien zwischen rd. 20 und 100 eV. Der engere Spektralbereich um 13,5 nm wird auch als EUV (extreme ultrav