Submikrometertechnik (Mikroelektronik)

Submikrometertechnik, Submikrontechnik, Mikroelektronik:

ältere Bezeichnung für Technologien (vor allem Lithografie) zur Herstellung integrierter Schaltkreise, deren Strukturabmessungen deutlich unter einem Mikrometer (< 1 μm) aufweisen. Heute werden die verschiedenen Technologien zur Herstellung elektronischer Bauelemente der Mikrosystemtechnik oder der Nanotechnologie zugeordnet.

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