Bei Getterpumpen wird die Pumpwirkung durch gasbindende Stoffe (Getter) erreicht. Die verschiedenen Arten von Getterpumpen unterscheiden sich durch die zur Sorption verwendeten Stoffe und den Sorptionsvorgang. Man unterscheidet Sorptionspumpen, Ionenpumpen, Ionengetterpumpen und die Sublimationspumpen, bei denen eine gasbindende Schicht durch Verdampfen eines Metalls (Barium, Titan) erzeugt wird. –