Sorptionspumpe

Sorptions|pumpe, Vakuumpumpe für Hoch- und Ultrahochvakuum, die Gasmoleküle auf aktiven oder porösen Flächen (z. B. Aktivkohle, Zeolith, Barium, Titan und speziellen Legierungen) bindet. Nach der Aktivierungsart der Gettersubstanzen unterscheidet man: Adsorptionspumpe (Ausheizen unter Vakuum), Verdampfer- oder Sublimationspumpen (Aufdampfen aus der festen Phase) sowie die Ionenpumpe.