Historisch gesehen unterscheidet man zwischen charakteristischer Röntgenstrahlung (Eigenstrahlung, Röntgenfluoreszenzstrahlung) und Bremsstrahlung. Letztere entsteht, wenn Elektronen infolge ihrer Ablenkung im elektrischen Feld von Atomkernen einen Teil ihrer kinetischen Energie verlieren und in Form von Röntgenstrahlung emittieren. Die Entstehung charakteristischer Röntgenstrahlung der Energie E wird durch einen sogenannten Ionisationsprozess initiiert. Dabei schlägt ein