PVD-Verfahren

die Beschichtung vorzugsweise metallischer Werkstoffe durch physikalische Dampfabscheideprozesse mithilfe plasmaaktivierter Verfahren unter Vakuum. Hierzu gehören das Ionenplattieren, das Bedampfen (Bedampfungstechnik) sowie die Kathodenzerstäubung (Sputtern). Beim Ionenplattieren wird in einer Vakuumkammer an das leitfähige Substrat eine elektrische Spannung gelegt und in zwei Arbeitsphasen zunächst die Oberfläche durch Beschuss mit