Gesamtheit der v. a. in der metallurgischen, optischen und elektronischen Industrie verwendeten, unter Hochvakuumbedingungen durchgeführten technischen Verfahren zum Aufbringen (Aufdampfen, Bedampfen) dünner Schichten (Dicke meist weniger als 1 μm) auf vorgegebene Objekte, Substrate oder Trägermaterialien. Die dazu dienenden Bedampfungsanlagen (Aufdampfanlagen) bestehen im Wesentlichen aus einer Vakuumapparatur, in deren