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Mikro- und nanoelektromechanische Systeme

Die Herstellungsverfahren der Mikroelektronik haben zu miniaturisierten sensorischen und aktorischen Systemen geführt (Mikroaktor, Mikromechanik), deren Abmessungen die eines daumennagelgroßen Computerchips nicht überschreiten und die Strukturen im Bereich weniger Mikrometer enthalten (1 μm = 1

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Nanomanipulationsmethoden

Rastersondenmanipulation: Um auf der Nanoskala Materie gezielt manipulieren zu können, bedarf es roboterähnlicher Werkzeuge, mit denen Materie mit Nanometerpräzision bearbeitet und bewegt werden kann. Bereits existierende Werkzeuge basieren auf dem Prinzip der Rastersondenmikroskope, in denen eine feine Spitze am Ende eines langen Hebels eine Oberfläche abtastet.

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Quellenangabe
Brockhaus, Sensorik, Aktorik und Robotik mit nanoskaligen Elementen. http://brockhaus.de/ecs/enzy/article/nanotechnologie/sensorik-aktorik-und-robotik-mit-nanoskaligen-elementen