Die Herstellungsverfahren der Mikroelektronik haben zu miniaturisierten sensorischen und aktorischen Systemen geführt (Mikroaktor, Mikromechanik), deren Abmessungen die eines daumennagelgroßen Computerchips nicht überschreiten und die Strukturen im Bereich weniger Mikrometer enthalten (1 μm = 1

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Quellenangabe
Brockhaus, Mikro- und nanoelektromechanische Systeme. http://brockhaus.de/ecs/enzy/article/nanotechnologie/sensorik-aktorik-und-robotik-mit-nanoskaligen-elementen/mikro-und-nanoelektromechanische-systeme