Mikroelektronik

Mikro|elektronik, Teilgebiet der Halbleiterelektronik, das sich mit Entwurf, Entwicklung, Herstellung und Anwendung integrierter Schaltungen (Abkürzung IC), d. h. der innigen, zerstörungsfrei nicht trennbaren Verbindung einer großen Zahl stark miniaturisierter Funktionselemente (Miniaturisierung) auf Festkörperbasis zu einer funktionalen Einheit, befasst. Die typischen Abmessungen der Strukturen in der Mikroelektronik liegen im Bereich