Bei vollständiger Substitution der H-Atome eines Grundkörpers spricht man von perfluorierten Kohlenwasserstoffen oder Fluorkohlenstoffen, anderenfalls von wasserstoffhaltigen Fluorkohlenwasserstoffen, H-FKW. Fluorkohlenwasserstoffe werden technisch meist durch katalytische Umsetzung von Chlorkohlenwasserstoffen mit Fluorwasserstoff, HF, oder Metallfluoriden hergestellt. Bleibt dabei eine Anzahl von Chloratomen im Molekül enthalten, entstehen Fluorchlorkohlenwasserstoffe, FCKW.