die gesetzmäßige, orientierte Verwachsung von Kristallen, die chemisch und strukturmäßig gleich (Homoepitaxie) oder verschieden (Heteroepitaxie) sein können. Lässt man einen Stoff, der in seiner Dampfphase oder in Form einer gasförmigen Verbindung vorliegt, auf einem vorgegebenen Kristall, dem Träger (in der Halbleitertechnik meist ein Halbleitereinkristall in Scheibenform), kondensieren oder