Ausdiffusion

Ausdiffusion, die bei stark erhöhten Temperaturen stattfindende Diffusion von Fremdatomen aus einem dotierten Halbleiterkristall, z. B. in eine aufwachsende Epitaxieschicht; ermöglicht Änderungen der Dotierungsverhältnisse und damit der elektrischen Eigenschaften im Halbleiterkristall.