Ausdiffusion

Ausdiffusion, die bei stark erhöhten Temperaturen stattfindende Diffusion von Fremdatomen aus einem dotierten Halbleiterkristall, z. B. in eine aufwachsende Epitaxieschicht; ermöglicht Änderungen der Dotierungsverhältnisse und damit der elektrischen Eigenschaften im Halbleiterkristall.

Quellenangabe

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