Planartechnik, Verfahren in der Halbleitertechnologie und Mikroelektronik zur Herstellung von Halbleiterbauelementen und Chips; dabei wird das Halbleitermaterial, meist ein Siliciumsubstrat, mittels

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Quellenangabe
Brockhaus, Planartechnik. http://brockhaus.de/ecs/enzy/article/planartechnik