Planartechnik, Verfahren in der Halbleitertechnologie und Mikroelektronik zur Herstellung von Halbleiterbauelementen und Chips; dabei wird das Halbleitermaterial, meist ein Siliciumsubstrat, mittels Diffusion an ausgewählten Bereichen der Oberfläche dotiert (Dotierung), sodass planare, d. h. flache, der Oberfläche parallele Strukturen entstehen (integrierte Schaltung). Das Substrat wird zunächst durch einen für