Mikrotechnik

Mikrotechnik, Mikrostrukturtechnik,

Sammelbezeichnung für technische Verfahren zur Herstellung sehr kleiner und zugleich hochpräziser Strukturen (Mikrostrukturen); bisweilen auch gleichbedeutend mit Mikrosystemtechnik verwendet. Die typischen Abmessungen der mithilfe der Mikrotechnik erzeugten Mikrostrukturen liegen im Bereich unter 1 mm. Mikrostrukturen zeichnen sich dadurch aus, dass funktionelle Strukturdetails Abmessungen im Mikrometerbereich und darunter aufweisen. Die

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