Kombination von mindestens zwei Herstellungsverfahren. Ein Fertigungsverfahren wird hierbei durch zusätzliche mechanische, chemische oder thermische Wirkprinzipien anderer Verfahren unterstützt. Ziel der Anwendung von Hybridverfahren ist die Steigerung der Produktivität, ein erweitertes Spektrum der Produktanwendung sowie die Verbesserung der Produktqualität. Beispiele für Hybridverfahren sind das chemisch-mechanische Polieren von einkristallinen Halbleiteroberflächen oder