Dünnschichttechnik

Sammelbezeichnung für Verfahren der Mikroelektronik zur Herstellung miniaturisierter und integrierter Bauelemente und Schaltkreise (Hybridschaltung) durch Aufdampfen oder Aufstäuben von 1 bis 0,01 μm starken leitenden, halbleitenden und/oder dielektrischen Schichten im Vakuum auf einen nicht leitenden Träger (aus Glas, Keramik, Quarz u. a., auch aus Kunststoff); typischerweise werden epitaktische Verfahren angewandt. Dünnschichtwiderstände