Sputtern

Methode zur Zerstäubung von Festkörpern im Hochvakuum, bei der durch Beschuss eines negativen Targets mit Ionen (vorwiegend Edelgasionen von einigen Kiloelektronvolt Energie) Atome vom Target abdampfen und dann auf der Oberfläche eines Substrats abgelagert werden (z. B. die Kathodenzerstäubung). Praktisch angewendet wird das Sputtern besonders zur Herstellung dünner Schichten für die