Elektronenstrahlmikroanalyse

Verfahren zur Bestimmung der Elementverteilung oberflächennaher Schichten einer Probe unter Einsatz einer Elektronenmikrosonde. Bei der ESMA wird auf die zu analysierende Probenfläche ein Elektronenstrahl genau fokussiert. Dabei treten verschiedene Wechselwirkungen auf, u. a. entstehen Sekundär- und Rückstreuelektronen, Auger-Elektronen sowie Röntgenstrahlung. Die Analyse der Energieverteilung der Auger-Elektronen ist als Auger-Elektronenspektroskopie bekannt,