Elektronenmikrosonde

fein fokussiertes Elektronenstrahlbündel mit einem Durchmesser < 1 μm, das zur Analyse der Elemente in einem Probenvolumen dient, das mit der Elektronenmikrosonde bestrahlt wird (Elektronenstrahlmikroanalyse). Durch Messung vieler benachbarter Punkte kann die flächenhafte Verteilung der Elemente in einer Probe erfasst werden (Rastermikroskope).