Die Stöchiometrie wurde am Ende des 18. und Anfang des 19. Jahrhunderts entwickelt. Damals erkannten verschiedene Naturforscher wie Jeremias B. Richter (* 1762, † 1807), Joseph L. Proust (* 1754, † 1826) und John Dalton (* 1766, † 1844), dass die Massen chemischer Elemente in ihren Verbindungen