MOS-Technik

1) im weiteren Sinn synonym mit MIS-Technik verwendete Bezeichnung; 2) im engeren Sinn Bezeichnung für einen Spezialbereich der MIS-Technik, in dem bei der Herstellung diskreter und integrierter Halbleiterbauelemente beziehungsweise Funktionselemente – besonders Feldeffekttransistoren (MOSFET), aber auch MOS-Kondensatoren, -Widerstände und -Speicherelemente – Silicium, Siliciumdioxid oder das natürliche Oxid des Substrats