chemischer Sensor, mit dem die Ionenkonzentration von Elektrolyten bestimmt werden kann. Vom Prinzip her ist der ISFET ein MOSFET, dessen Gate-Elektrode als dielektrische Schicht ausgebildet ist und direkt mit dem Elektrolyten Kontakt hat (Elektrode). Der Ionenaustausch an der Gate-Oberfläche verursacht eine Potenzialerhöhung, die über einen Analog-digital-Wandler ausgewertet werden kann.