Speckle-Interferometrie (Optik)

Verfahren zur berührungslosen Messung geringer Verschiebungen und Oberflächenverformungen durch Überlagerung der Speckle-Muster zweier Objektzustände. Speckles treten dabei als zufällige (»fleckenartige«) Intensitätsverteilung bei Beleuchtung einer diffus reflektierenden Fläche oder einer transmissiven Mattscheibe mit kohärentem Licht (z. B. eines Lasers) auf. Ursache ist die Interferenzfähigkeit der reflektierten Strahlung aufgrund ihrer hohen