RHEED-Technik

RHEED-Technik [riːd-; RHEED Abkürzung für englisch reflection high energy electron diffraction, »hochenergetische Reflexionselektronenbeugung«],

Verfahren zur Strukturuntersuchung von Oberflächen unter Anwendung der Beugung hochenergetischer Elektronen. Dabei lässt man einen Strahl von Elektronen mit einer Energie von typischerweise 40 keV nahezu streifend auf die zu untersuchende Oberfläche fallen und analysiert die wiederum fast streifend rückgestreuten Elektronen. Die RHEED-Technik wird zur Untersuchung der obersten Atomlagen an

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