Reinraumtechnik

Reinraumtechnik, Verfahren und Anlagen zur Herstellung besonders hoher äußerer Reinheit, die für spezielle Fertigungsverfahren (besonders in der Mikroelektronik bei der Chipfertigung), medizinische Operationen oder andere gegenüber Verunreinigungen empfindliche Tätigkeiten erforderlich ist. Das Prinzip der Reinraumtechnik wird in besonderen Verfahren und Anlagenarten der Klimatechnik angewendet, z. B. bei der turbulenzarmen