Rasterelektronenmikroskop

Elektronenmikroskop, bei dem der Elektronenstrahl, mit dem die Probe im Rasterverfahren beleuchtet wird, über eine elektronenoptische Säule zu einem kleinen Punkt fokussiert wird (Rastermikroskope). Bei Verwendung von Feldemissionskathoden als Elektronenquelle können Spotdurchmesser bis hinunter zu 1 nm erreicht werden. Die vom Primärstrahl in der Objektoberfläche erzeugten Sekundärelektronen werden auf