Kryopumpe

Kryopumpe, eine Vakuumpumpe zur Erzeugung von Hoch- und Ultravakuum, deren Saugvermögen auf der Bindung der Gasteilchen an den tiefgekühlten Wandflächen (Kaltflächen) beruht. Die Kühlung der Wandflächen, an der Gas- und Dampfmoleküle durch Kondensation niedergeschlagen werden, erfolgt z. B. durch flüssigen Stickstoff oder durch Verdampfung von flüssigem Helium.