Ionisationsvakuummeter

Gerät zur Messung kleinster Gasdrücke (< 10⁻⁸ Pa), bei dem der zu messende Druck durch Ionisation der Gasteilchen in einen elektrischen Strom überführt wird, der zur Teilchenzahldichte proportional ist. Bei einem Glühkathoden-Ionisationsvakuummeter ist dieser Strom ein reiner Ionenstrom, während es sich beim Kaltkathoden-Ionisationsvakuummeter (Penning-Vakuummeter) um einen Gasentladungsstrom handelt.