Ionenpumpe (Vakuumtechnik)

Vorrichtung zur Herstellung eines Hochvakuums mit Drücken bis unter 10⁻⁸ Pa. Die Pumpwirkung der Ionenpumpe beruht darauf, dass die in einem evakuierten Gefäß vorhandenen Restgase oder -moleküle ionisiert und die Ionen durch elektrische beziehungsweise magnetische Felder beschleunigt und bevorzugt auf die Innenwände der Pumpe gelenkt werden, wo sie durch Vorvakuumpumpen