Interferometrie

Gesamtheit der Messverfahren, die mithilfe von Interferometern durchgeführt werden unter Nutzung der kohärenten Überlagerung mehrerer Einzelwellen. Im Fall der optischen Interferometrie können sehr empfindliche Effekte der Änderung optischer Weglängen (Abstandsvariation, Brechungsindexvariation) gemessen werden. Anwendungen findet die Interferometrie deshalb beispielsweise in der Abstands- und Positionsbestimmung, in der Form- und Oberflächenvermessung,