Gassensoren

Gas|sensoren, an die Mikroelektronik angepasste Gasspürgeräte, die meist aus Halbleiterwerkstoffen, z. B. Silicium, bestimmten Metalloxiden oder Keramiken bestehen. Sie erfassen die Konzentration des Messgases und wandeln sie in eine elektrische Größe um, indem sie z. B. die Fähigkeit der Gasmoleküle benutzen, die Elektronenkonzentration an Halbleiteroberflächen und damit die Leitfähigkeit