Trockenätzverfahren (Halbleitertechnik)
Trocken|ätzverfahren, Halbleitertechnik:
Sammelbezeichnung für Ätzverfahren, d. h. für Verfahren der Strukturübertragung in der Fertigung von Halbleiterbauelementen, bei denen in einer Vakuumkammer in wasserfreier Atmosphäre geätzt wird, der Materialabtrag also in gasförmiger Umgebung erfolgt. Die Bedeutung der Trockenätzverfahren liegt darin, dass ungerichtete (isotrope) Ätzverfahren, z. B. nasschemisches Ätzen (nasschemische Verfahren), bei sehr feinen
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