Diffusionsverfahren, Halbleitertechnologie: die Verfahren der Diffusionstechnik zur Dotierung von Halbleitereinkristallen, besonders

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Quellenangabe
Brockhaus, Diffusionsverfahren (Halbleitertechnologie). http://brockhaus.de/ecs/enzy/article/diffusionsverfahren-halbleitertechnologie