Zerstäubung, englisch Sputtering [ˈspʌtərɪŋ], Festkörperphysik: Sputtern

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Quellenangabe
Brockhaus, Zerstäubung (Festkörperphysik). http://brockhaus.de/ecs/enzy/article/zerstäubung-festkörperphysik